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HMDS真空烘箱在半导体工艺中的解决方案
更新时间:2014-05-13 13:36:48
HMDS真空烘箱在半导体工艺中的解决方案

半导体生产工艺分析:
在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节环球体育环球体育环球体育,涂胶质量直接影响到光刻的质量环球体育,涂胶工艺也显得尤为重要环球体育。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的环球体育,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差环球体育环球体育环球体育环球体育,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处环球体育,容易造成漂条环球体育环球体育、浮胶等环球体育,导致光刻图形转移的失败环球体育环球体育环球体育,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。

客户提出要求:
1.用途:提高光刻胶与硅片的黏附性环球体育。
2.参数要求:使用温度130度环球体育环球体育环球体育,真空达到负压即可环球体育,内胆尺寸:400宽*400深*300高环球体育,外形尺寸(没有要求)环球体育环球体育,附带两块隔架环球体育,

通过以上参数给出的解决方案如下:
电源电压:AC 220V±10%/50Hz±2%
输入功率:3000W
控温范围:室温+10℃-250℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度:±0.5℃
达到真空度:133Pa
容积:90L
工作室尺寸(mm):450*450*450
外形尺寸(mm):615*615*900
载物托架:2块
时间单位:分钟

HMDS真空烘箱的原理:
HMDS预处理系统通过对真空烘箱HMDS预处理过程的工作温度环球体育环球体育环球体育环球体育、处理时间环球体育、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角环球体育,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性环球体育。

HMDS真空烘箱一般工作流程:
先确定工作温度环球体育。典型的预处理程序为:打开真空泵抽真空环球体育环球体育,待腔内真牢度达到某一高真空度后环球体育,开始充人氮气环球体育,充到达到某低真空度后,冉次进行抽真空、充入氮气的过程环球体育环球体育,到达设定的充入氮气次数后环球体育,开始保持一段时间环球体育,使硅片充分受热环球体育环球体育环球体育,减少硅片表面的水分环球体育环球体育环球体育。然后再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段环球体育,使硅片充分与HMDS反应环球体育环球体育环球体育。当达到设定的保持时间后环球体育,再次开始抽真空环球体育环球体育环球体育。充入氮气环球体育环球体育环球体育,完成整个作业过程环球体育。HMDS与硅片反应机理如图:先加热到100℃-200℃,去除硅片表面的水分环球体育环球体育环球体育,然后HMDS与表面的OH一反应,在硅片表而生成硅醚环球体育,消除氢键作环球体育,从而使极性表面变成非极性表面环球体育。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应环球体育。

尾气排放等:多余的HMDS蒸汽(尾气)将由真空泵抽出,排放到专用废气收集管道环球体育。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

以上为详细方案及操作流程。

部分客户名单例举:

上海亚明灯泡厂
上海精瓷照明电器有限公司
GE(上海)有限公司

宁波亚茂照明电器有限公司
飞利浦(上海)有限公司
嘉善三英灯饰有限公司

 

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